# Национальная библиография Кыргызстана
# Выборка: запись 465
# Записей: 1
# Сформировано: 2026-09-29T14:17:03+06:00
# Формат: текстовая выгрузка, версия 1; UTF-8; перевод строки LF
# Экранирование: \n — перевод строки внутри значения, \\ — обратный слэш
# Лицензия: НЕ ОПРЕДЕЛЕНА (вопрос 5 раздела 9 ТЗ)
======================================================================
ID: 465
Заглавие: Технология и конструирование интегральных микросхем
Сведения к заглавию: Учеб. пособие для вузов
Ответственность: А.С. Березин, О.Р. Мочалкина
Автор: Березин А.С.
Автор: Мочалкина О.Р.
Место издания: М.
Издательство: Радио и связь
Год: 1992
Объём: 319 с.
Размер: 21 см
ISBN: 5-256-01014-X
Язык: rus
Страна: RU
Тип материала: book
Тема: Технические науки -- Электроника -- Интегральные схемы
ББК: з85
ГРНТИ: 47
Оглавление: Глава 1. Структура элементов и технологические процессы производства кремниевых интегральных микросхем (5-11)
Оглавление: Глава 2. Обработка кремниевых подложек (11-24)
Оглавление: Глава 3. Диффузия примесей в кремнии (24-37)
Оглавление: Глава 4. Ионное внедрение примесей  в кремний (37-47)
Оглавление: Глава 5. Эпитаксиальное наращивание слоев кремния (47-62)
Оглавление: Глава 6. Получение и обработка тонких пленок (63-97)
Оглавление: Глава 7. Литография (97-115)
Оглавление: Глава 8. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных микросхем (115-140)
Оглавление: Глава 9. Технологические процессы изготовления гибридных инттегральных микросхем (152-161)
Оглавление: Глава 10. Предмет и исходные предпосылки конструирования интегральных микросхем (152-161)
Оглавление: Глава 11. Электрофизические параметры структуры интегральных микросхем (161-177)
Оглавление: Глава 12. Проектирование биполярных транзисторов и диодов интегральных полупроводниковых микросхем (177-214)
Оглавление: Глава 13. Проектирование пассивных элементов биполярных интегральных полупроводниковых микросхем (214-225)
Оглавление: Глава 14. Проектирование элементов МДП - микросхем (225-240)
Оглавление: Глава 15. Конструирование полупроводниковых интегральных микросхем (241-264)
Оглавление: Глава 16. Конструирование гибридных интегральных микросхем (264-278)
Оглавление: Глава 17. Конструирование больших интегральных микросхем (279-305)
Оглавление: Глава 18. Интегральные микросхемы на арсениде галлия (305-316)
Держатель: Научная библиотека КРСУ им. Б.Н. Ельцина [KRSU]
URL: https://kitephub.merkushov.dev/record/465
Обновлено: 2026-09-24T15:35:14+06:00