Технология и конструирование интегральных микросхем
Березин А.С. Радио и связь 1992
- Аталышка тиешелүү маалымат
-
Учеб. пособие для вузов
- Жоопкерчилик
-
А.С. Березин, О.Р. Мочалкина
- Авторлор жана катышуучулар
-
Березин А.С.Мочалкина О.Р.
- Басылган жери
-
М.
- Басмакана
-
Радио и связь
- Басылган жылы
-
1992
- Көлөмү
-
319 с.
- Өлчөмү
-
21 см
- ISBN
-
5-256-01014-X
- Тили
-
rus
- Басылган өлкөсү
-
RU
- Материалдын түрү
-
Китеп
- Тематикасы
-
Технические науки -- Электроника -- Интегральные схемы
- ББК
-
з85
- ГРНТИ
-
47
Мазмуну (18)
- Глава 1. Структура элементов и технологические процессы производства кремниевых интегральных микросхем 5-11
- Глава 2. Обработка кремниевых подложек 11-24
- Глава 3. Диффузия примесей в кремнии 24-37
- Глава 4. Ионное внедрение примесей в кремний 37-47
- Глава 5. Эпитаксиальное наращивание слоев кремния 47-62
- Глава 6. Получение и обработка тонких пленок 63-97
- Глава 7. Литография 97-115
- Глава 8. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных микросхем 115-140
- Глава 9. Технологические процессы изготовления гибридных инттегральных микросхем 152-161
- Глава 10. Предмет и исходные предпосылки конструирования интегральных микросхем 152-161
- Глава 11. Электрофизические параметры структуры интегральных микросхем 161-177
- Глава 12. Проектирование биполярных транзисторов и диодов интегральных полупроводниковых микросхем 177-214
- Глава 13. Проектирование пассивных элементов биполярных интегральных полупроводниковых микросхем 214-225
- Глава 14. Проектирование элементов МДП - микросхем 225-240
- Глава 15. Конструирование полупроводниковых интегральных микросхем 241-264
- Глава 16. Конструирование гибридных интегральных микросхем 264-278
- Глава 17. Конструирование больших интегральных микросхем 279-305
- Глава 18. Интегральные микросхемы на арсениде галлия 305-316
Кармоочу китепканалар
| Китепкана | Код | Нускасы | Шифр | Жүктөлдү |
|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека КРСУ им. Б.Н. Ельцина | KRSU |
2 | В195/93 | 22.09.2026 |