Технология и конструирование интегральных микросхем
Березин А.С. Радио и связь 1992
- Сведения к заглавию
-
Учеб. пособие для вузов
- Ответственность
-
А.С. Березин, О.Р. Мочалкина
- Авторы и участники
-
Березин А.С.Мочалкина О.Р.
- Место издания
-
М.
- Издательство
-
Радио и связь
- Год издания
-
1992
- Объём
-
319 с.
- Размер
-
21 см
- ISBN
-
5-256-01014-X
- Язык
-
rus
- Страна издания
-
RU
- Тип материала
-
Книга
- Тематика
-
Технические науки -- Электроника -- Интегральные схемы
- ББК
-
з85
- ГРНТИ
-
47
Оглавление (18)
- Глава 1. Структура элементов и технологические процессы производства кремниевых интегральных микросхем 5-11
- Глава 2. Обработка кремниевых подложек 11-24
- Глава 3. Диффузия примесей в кремнии 24-37
- Глава 4. Ионное внедрение примесей в кремний 37-47
- Глава 5. Эпитаксиальное наращивание слоев кремния 47-62
- Глава 6. Получение и обработка тонких пленок 63-97
- Глава 7. Литография 97-115
- Глава 8. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных микросхем 115-140
- Глава 9. Технологические процессы изготовления гибридных инттегральных микросхем 152-161
- Глава 10. Предмет и исходные предпосылки конструирования интегральных микросхем 152-161
- Глава 11. Электрофизические параметры структуры интегральных микросхем 161-177
- Глава 12. Проектирование биполярных транзисторов и диодов интегральных полупроводниковых микросхем 177-214
- Глава 13. Проектирование пассивных элементов биполярных интегральных полупроводниковых микросхем 214-225
- Глава 14. Проектирование элементов МДП - микросхем 225-240
- Глава 15. Конструирование полупроводниковых интегральных микросхем 241-264
- Глава 16. Конструирование гибридных интегральных микросхем 264-278
- Глава 17. Конструирование больших интегральных микросхем 279-305
- Глава 18. Интегральные микросхемы на арсениде галлия 305-316
Держатели
| Библиотека | Код | Экз. | Шифр | Загружено |
|---|---|---|---|---|
| Научная библиотека КРСУ им. Б.Н. Ельцина | KRSU |
2 | В195/93 | 22.09.2026 |